کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
8041642 1518687 2014 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Depth profile analysis by plasma profiling time of flight mass spectrometry
ترجمه فارسی عنوان
تجزیه و تحلیل مشخصات عمق با زمان پالایش پروفایل طیف سنجی جرمی پرواز
کلمات کلیدی
ترجمه چکیده
برنامه های کاربردی مختلف از تجزیه و تحلیل فیلم نازک برای ترکیب، تشخیص آلودگی، اندازه گیری سطح سطح و سطح دوپینگ برای مشخص کردن مکانیزم های انتشار ارائه می شود. معیارهای عملکرد تحلیلی با توجه به حساسیت، اندازه گیری، تکرارپذیری و حجم نمونه مورد بحث قرار خواهد گرفت.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
پیش نمایش مقاله
تجزیه و تحلیل مشخصات عمق با زمان پالایش پروفایل طیف سنجی جرمی پرواز
چکیده انگلیسی
Various applications will be presented ranging from thin film analysis for composition, contamination detection, surface area measurements and doping level to characterisation of diffusion mechanisms. Aspects of analytical performance with regards to sensitivity, quantification, repeatability and sample throughput will be discussed.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 332, 1 August 2014, Pages 351-354
نویسندگان
, , ,