کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8041642 | 1518687 | 2014 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Depth profile analysis by plasma profiling time of flight mass spectrometry
ترجمه فارسی عنوان
تجزیه و تحلیل مشخصات عمق با زمان پالایش پروفایل طیف سنجی جرمی پرواز
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
ترجمه چکیده
برنامه های کاربردی مختلف از تجزیه و تحلیل فیلم نازک برای ترکیب، تشخیص آلودگی، اندازه گیری سطح سطح و سطح دوپینگ برای مشخص کردن مکانیزم های انتشار ارائه می شود. معیارهای عملکرد تحلیلی با توجه به حساسیت، اندازه گیری، تکرارپذیری و حجم نمونه مورد بحث قرار خواهد گرفت.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
چکیده انگلیسی
Various applications will be presented ranging from thin film analysis for composition, contamination detection, surface area measurements and doping level to characterisation of diffusion mechanisms. Aspects of analytical performance with regards to sensitivity, quantification, repeatability and sample throughput will be discussed.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 332, 1 August 2014, Pages 351-354
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 332, 1 August 2014, Pages 351-354
نویسندگان
Agnès Tempez, Sébastien Legendre, Patrick Chapon,