کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8042964 | 1518714 | 2013 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Sputtering of a silicon surface: Preferential sputtering of surface impurities
ترجمه فارسی عنوان
پراکندگی سطح سیلیکون: اسپری شدن اولتراسوند از ناخالصی های سطحی
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
کندوپاش، دینامیک مولکولی، سی، سیمز،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
چکیده انگلیسی
We present molecular-dynamics simulations of the sputtering of an impurity atom off a Si 2Ã1 (100) surface by 2 keV Ar ions. The impurity is characterized by its mass and its binding energy to the Si substrate. We find that sputtering strongly decreases with the mass and even more strongly with the binding energy of the impurity atom to the matrix. The velocity of the impurity perpendicular to the surface is reduced with increasing impurity mass and binding energy. In terms of available ionization theories we can conclude that heavier impurities will have a smaller ionization probability.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 303, 15 May 2013, Pages 205-208
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 303, 15 May 2013, Pages 205-208
نویسندگان
Maureen L. Nietiadi, Yudi Rosandi, Jan LorinÄÃk, Herbert M. Urbassek,