کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8045398 | 1518982 | 2013 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Development of a 915Â MHz ECR plasma source
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
âºWe produced a 915 MHz ECR plasma for different magnetic field distributions. ⺠The ECR plasma was uniform for diverging and magnetic mirror field. ⺠The uniformity of ECR plasma was realized for a critical microwave power. ⺠Low electron temperature plasma was realized for diverging magnetic field.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 87, January 2013, Pages 123-127
Journal: Vacuum - Volume 87, January 2013, Pages 123-127
نویسندگان
Yoshinobu Kawai, Kiichiro Uchino, Hiroshi Muta, Tobias Röwf,