کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
851747 | 909335 | 2012 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Measurement error analysis on interference testing
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی (عمومی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
When an optical element is tested, the structure parameters and the surface errors of the interference system will influence the test result deeply. It is necessary to design the reasonable optical system to obtain the surface shape accurately. In this paper, the influences of the collimated lens, the imaging lens and the reference surface on the interferometric testing are analyzed, the relationship between the measurement error and system structures are built, and the optimum design is introduced to improve the test precision.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optik - International Journal for Light and Electron Optics - Volume 123, Issue 6, March 2012, Pages 559–563
Journal: Optik - International Journal for Light and Electron Optics - Volume 123, Issue 6, March 2012, Pages 559–563
نویسندگان
Xiaojun Cao, Yanhong Li, Qiang Lin, Jianqiang Zhu,