کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
9566884 | 1503716 | 2005 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Auger electron spectroscopy analysis of high metal content micro-structures grown by electron beam induced deposition
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
An auger electron spectroscopy study was carried out on Rh-containing micro-structures grown by electron beam induced deposition (EBID) of the iso-structural and iso-electronic precursors [RhCl(PF3)2]2 and [RhCl(CO)2]2. A material containing between 55 and 60Â at.% Rh was obtained from both precursors. The chemical composition of structures grown from the two different precursors indicates a similar decomposition mechanism. Deposits grown from [RhCl(PF3)2]2 showed a chemical composition independent of electron energy and electron dose in the investigated range of conditions.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 242, Issues 1â2, 31 March 2005, Pages 107-113
Journal: Applied Surface Science - Volume 242, Issues 1â2, 31 March 2005, Pages 107-113
نویسندگان
F. Cicoira, P. Hoffmann, C.O.A. Olsson, N. Xanthopoulos, H.J. Mathieu, P. Doppelt,