کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
9567488 | 1503717 | 2005 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Formation of array microstructures on silicon by multibeam interfered femtosecond laser pulses
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
We report on an optical interference method to fabricate array microstructures on the surface of silicon wafers by means of five-beam interference of femtosecond laser pulses. Optical microscope and scanning electron microscope observations revealed microstructures with micrometer-order were fabricated. The diffraction characteristics of the fabricated structures were evaluated. The present technique allows one-step realization of functional optoelectronic devices on silicon surface.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 241, Issues 3â4, 15 March 2005, Pages 416-419
Journal: Applied Surface Science - Volume 241, Issues 3â4, 15 March 2005, Pages 416-419
نویسندگان
Quan-Zhong Zhao, Jian-Rong Qiu, Chong-Jun Zhao, Xiong-Wei Jiang, Cong-Shan Zhu,