کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
9572137 | 1388504 | 2005 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Laboratory LPP EUV reflectometer working with non-polarized radiation
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Laboratory LPP EUV reflectometer working with non-polarized radiation Laboratory LPP EUV reflectometer working with non-polarized radiation](/preview/png/9572137.png)
چکیده انگلیسی
A laboratory extreme ultraviolet reflectometer (EUVR) for the wavelength range from 10 to 16Â nm was built at IWS Dresden using a gold target laser pulse plasma (Au-LPP) source. The peak reflectance and the center wavelength are reproduced in relative standard deviation of 0.2 and 0.02%, respectively. In contrast to measurements using linearly polarized s-adjusted synchrotron radiation at PTB, measurements with non-polarized radiation at the EUVR yield systematically lower values for the reflectance due to the smaller reflectance of the p-component at higher angles of incidence.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 252, Issue 1, 30 September 2005, Pages 57-60
Journal: Applied Surface Science - Volume 252, Issue 1, 30 September 2005, Pages 57-60
نویسندگان
Ludwig van Loyen, Thomas Böttger, Stefan Schädlich, Stefan Braun, Thomas Foltyn, Andreas Leson, Frank Scholze, Stephan Müllender,