کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
9594907 | 1507960 | 2005 | 9 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Formation of pyramidal etch hillocks in a Kossel crystal
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Surface roughening due to anisotropic etching was studied experimentally and modeled using the Monte Carlo method for a Kossel crystal. Simulations were used to explore a possible formation mechanism for the appearance of etch hillocks in two and three dimensions. Similarities with pyramidal etch hillocks that are regularly observed in anisotropic etching of Si(1Â 0Â 0) are discussed.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface Science - Volume 599, Issues 1â3, 30 December 2005, Pages 221-229
Journal: Surface Science - Volume 599, Issues 1â3, 30 December 2005, Pages 221-229
نویسندگان
M.P. Suárez, D.A. Mirabella, C.M. Aldao,