کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
9697409 1460824 2005 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Mechanical characterization and stress engineering of nanocrystalline diamonds films for MEMS applications
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Mechanical characterization and stress engineering of nanocrystalline diamonds films for MEMS applications
چکیده انگلیسی
Variations of growth parameters such as pressure and substrate temperature result in different compressive stress values between 0 and 390 MPa. The possibility to control and adjust the absolute value of the stress inside the diamond film with respect to the silicon substrate allows to use the built-in stress as design parameter of MEMS devices and engineer for example bistable membrane configurations.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Diamond and Related Materials - Volume 14, Issues 3–7, March–July 2005, Pages 411-415
نویسندگان
, , , , ,