کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
9697409 | 1460824 | 2005 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Mechanical characterization and stress engineering of nanocrystalline diamonds films for MEMS applications
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
Variations of growth parameters such as pressure and substrate temperature result in different compressive stress values between 0 and 390 MPa. The possibility to control and adjust the absolute value of the stress inside the diamond film with respect to the silicon substrate allows to use the built-in stress as design parameter of MEMS devices and engineer for example bistable membrane configurations.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Diamond and Related Materials - Volume 14, Issues 3â7, MarchâJuly 2005, Pages 411-415
Journal: Diamond and Related Materials - Volume 14, Issues 3â7, MarchâJuly 2005, Pages 411-415
نویسندگان
F.J. Hernández Guillén, Klemens Janischowsky, Joachim Kusterer, Wolfgang Ebert, Erhard Kohn,