کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
9786053 | 1512664 | 2005 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Improving the accuracy of homodyne Michelson interferometers using polarisation state measurement techniques
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
مواد الکترونیکی، نوری و مغناطیسی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
We demonstrate a simple homodyne Michelson interferometer design capable of fringe interpolation accuracy of one part in 36,000 leading to a potential accuracy of 10 pm. This improvement becomes possible thanks to the significant advances in polarimetry that permit measurement of the ellipsometric parameters Ï and Î with an accuracy of 0.01° with readily available commercial equipment. The proposed method has been set up and we make a direct comparison with a commercial heterodyne interferometer by measuring the displacement of the same target mirror. This latter has been displaced by steps of 20 nm using a high accuracy position control method.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optics Communications - Volume 247, Issues 1â3, 1 March 2005, Pages 133-139
Journal: Optics Communications - Volume 247, Issues 1â3, 1 March 2005, Pages 133-139
نویسندگان
Suat Topcu, Luc Chassagne, Yasser Alayli, Patrick Juncar,