کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
9816851 1518375 2005 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Method to detect the property of complex oxide structure formed by AFM anodic oxidation completely
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Method to detect the property of complex oxide structure formed by AFM anodic oxidation completely
چکیده انگلیسی
Thin titanium film (3∼8 nm thick) can be oxidized completely with atomic force microscope anodic oxidation to form a metal-insulator-metal structure to fabricate various nanodevices. Whether the Ti film is oxidized down to the bottom is vital to the nanodevices. We have fabricated a delicate Ti oxide structure of two triangles on about 3 nm thick Ti film. The theoretical calculation of the ratio of hox/dTi=0.58 indicates the Ti film has been oxidized completely.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Ultramicroscopy - Volume 105, Issues 1–4, November 2005, Pages 111-114
نویسندگان
, , , , ,