![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Structural and optical properties of thin films porous amorphous silicon carbide formed by Ag-assisted photochemical etching
Keywords: 81.20.-n; 71.23.Cq; 81.20.ân; 78.60.âb; 78.66.âw; Silicon carbide; Thin layer; Photochemical etching; SIMS; SEM;