![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Thermal oxidation of single crystalline aluminum nitride
Keywords: طیف نگاری الکترونی افت انرژی; High resolution transmission electron microscopy; Electron energy loss spectroscopy; Oxidized aluminum nitride; Stacking faults; Dislocations