![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Increased doping depth of Al in wet-chemical laser doping of 4H-SiC by expanding laser pulse
Keywords: انتشار پیشرفته; Laser doping; 4H-SiC; Aluminum; Wet chemical; Pulse expansion; Enhanced diffusion;