![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Multifunctional titanium oxycarbide films fabricated by filtered cathodic vacuum arc technique using CO2 as a precusor
Keywords: قوس فیلتر شده; Titanium oxycarbide; CO2 gas; Filtered arc; nc-TiO2/a-C