![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Stress imaging in structural challenging MEMS with high sensitivity using micro-Raman spectroscopy
Keywords: طیف سنجی میکرو رامان; MEMS; Stress; FEM simulation; Micro-Raman spectroscopy;