![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Synthesis of diamond-like carbon films on Si substrates by photoemission-assisted plasma-enhanced chemical vapor deposition
Keywords: CVD افزایش یافته با پلاسما; Photoemission-assisted plasma; Diamond-like carbon; Graphene-channel field effect transistor; Gate insulator; Plasma-enhanced CVD; Raman spectroscopy