![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Effect of laser scanning speed on geometrical features of Nd:YAG laser machined holes in thin silicon nitride substrate
Keywords: سرامیک Si3N4; Laser machining; Si3N4 ceramic; Laser spot scanning speed;