دانلود مقالات ISI درباره اکسین نیترید سیلیکون + ترجمه فارسی

Wavelength interrogation of grating-based optical biosensors in the input coupler configuration

Keywords: اکسین نیترید سیلیکون; Optical waveguide; Evanescent-wave sensors; Nanoimprint lithography; Silicon oxynitride

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 9 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه

Microstructural development in porous β-Si3N4 ceramics prepared with low volume RE2O3-MgO-(CaO) additions (RE = La, Nd, Y, Yb)

Keywords: اکسین نیترید سیلیکون; Porous ceramics; Silicon nitride; Silicon oxynitride; Grain growth; Scanning electron microscopy;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 14 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه

Surface roughness of silicon oxynitride etching in C2F6 inductively coupled plasma

Keywords: اکسین نیترید سیلیکون; Plasma etching; Silicon oxynitride; Surface roughness; Atomic force microscopy

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

SiOxNy thin films deposited by reactive sputtering: Process study and structural characterisation

Keywords: اکسین نیترید سیلیکون; Reactive sputtering; Deposition process; Silicon oxynitride; Structural properties

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 8 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

Optimization of plasma-enhanced chemical vapor deposition silicon oxynitride layers for integrated optics applications

Keywords: اکسین نیترید سیلیکون; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Silicon oxynitride; Process optimization; Layer composition; Optical properties

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 8 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

Electrical behaviour of SiOxNy thin films and correlation with structural defects

Keywords: اکسین نیترید سیلیکون; 52.80.Pi; 73.61.−r; Silicon oxynitride; Sputtering; Electrical properties; Structural defects;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Optical emission spectroscopy investigation of sputtering discharge used for SiOxNy thin films deposition and correlation with the film composition

Keywords: اکسین نیترید سیلیکون; 52.80.Pi; 52.70.Gw; Silicon oxynitride; Reactive sputtering; Optical emission spectroscopy;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Oxynitridation of Si(100) surface with thermally excited N2O gas

Keywords: اکسین نیترید سیلیکون; Silicon oxynitride; N2O gas; Thermal excitation; Si(100)

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Stressing effects on the charge trapping of silicon oxynitride prepared by thermal oxidation of LPCVD Si-rich silicon nitride

Keywords: اکسین نیترید سیلیکون; Silicon oxynitride; Interface trap; Insulator trap; Oxidation

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Photoemission studies of pulsed-RF plasma nitrided ultra-thin SiON dielectric layers

Keywords: اکسین نیترید سیلیکون; Photoemission; Plasma nitrided; Silicon oxynitride;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Plasma-assisted chemical vapor deposited silicon oxynitride as an alternative material for gate dielectric in MOS devices

Keywords: اکسین نیترید سیلیکون; Plasma-assisted CVD; Silicon oxynitride; IR spectroscopy; Specral ellipsometry; Electrical properties

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Negative bias temperature instability (NBTI) in SiO2 and SiON gate dielectrics understood through disorder-controlled kinetics

Keywords: اکسین نیترید سیلیکون; silicon dioxide; silicon oxynitride; negative bias temperature instability; dispersive transport; hydrogen;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2005 سفارش ترجمه

PECVD SiO2 and SiON films dependant on the rf bias power for low-loss silica waveguide

Keywords: اکسین نیترید سیلیکون; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Silicon dioxide; Silicon oxynitride; Annealing;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2005 سفارش ترجمه

Study of the structure and phase composition of nanocrystalline silicon oxynitride films synthesized by ICP-CVD

Keywords: اکسین نیترید سیلیکون; 41.60.Ap; 68.55.Nq; XRD using synchrotron radiation; Thin film structure; Silicon oxynitride;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2005 سفارش ترجمه

Investigation of plasma oxynitridation of Si(001) by NH3/N2O/Ar remote plasma processing

Keywords: اکسین نیترید سیلیکون; Plasma oxynitridation; Silicon oxynitride; Remote plasma;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2005 سفارش ترجمه

Study of PECVD SiOxNy films dielectric properties with different nitrogen concentration utilizing MOS capacitors

Keywords: اکسین نیترید سیلیکون; Plasma enhanced chemical vapor deposition; Silicon oxynitride; Metal/oxide/silicon capacitors;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2005 سفارش ترجمه

An analytical retention model for SONOS nonvolatile memory devices in the excess electron state

Keywords: اکسین نیترید سیلیکون; SONOS; Retention; NVSM; Trap distribution; Silicon oxynitride; Charge loss;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 11 صفحه سال انتشار : 2005 سفارش ترجمه