![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Sputter-assisted plasma CVD of polymer-like amorphous CNx:H films using supermagnetron plasma
Keywords: پلاسما سوپرمغناطیس; Amorphous-CNx:H; Plasma processing; Chemical vapor deposition; Supermagnetron plasma