![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Systematic study of shallow junction formation on germanium substrates
Keywords: اتصال فوق العاده کم عمق; Ultra Shallow Junction; Germanium; Boron; Arsenic; Mobility; Sheet Resistance