کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10411946 | 894849 | 2005 | 10 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Transient enhanced diffusion of B at low temperatures under extrinsic conditions
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
Transient enhanced diffusion of B in silicon is modelled at temperatures down to 500 °C, using a simplified model of self-interstitial clusters to describe the time evolution of the self-interstitial supersaturation, S. The model is highly predictive, providing an accurate description of diffusion both in the peak and tail regions of B marker layers, over a wide range of annealing conditions. The model is well adapted for implementation into existing 2D commercial simulation tools. Fundamental parameters of atomic-scale B diffusion were extracted for the first time at T = 500 °C, under both intrinsic and extrinsic conditions.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Solid-State Electronics - Volume 49, Issue 4, April 2005, Pages 618-627
Journal: Solid-State Electronics - Volume 49, Issue 4, April 2005, Pages 618-627
نویسندگان
L.F. Giles, B. Colombeau, N. Cowern, W. Molzer, H. Schaefer, K.H. Bach, P. Haibach, F. Roozeboom,