کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10668285 | 1008353 | 2011 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Mechanical and tribological properties of coatings sputtered from SiC target in the presence of CH4 gas
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
⺠Sputtering of SiC and Si target in gas mixture of Ar andCH4 is compared. ⺠Increase of carbon from 50 to 70 at.% leads to decrease of hardness and modulus. ⺠Small addition of CH4 results in decrease of friction for films from the SiC target. ⺠SiC sputtering allows to get a-SiC films with high hardness and low friction. ⺠Films with C/Si > 1 posses hardness of 18 GPa and friction coefficient of ~ 0.15.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 205, Issue 11, 25 February 2011, Pages 3372-3377
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 205, Issue 11, 25 February 2011, Pages 3372-3377
نویسندگان
V. Kulikovsky, V. Vorlicek, R. Ctvrtlik, P. Bohac, J. Suchanek, O. Blahova, L. Jastrabik,