کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10672580 | 1009916 | 2011 | 12 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Detection of buried reference structures by use of atomic force acoustic microscopy
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Detection of buried reference structures by use of atomic force acoustic microscopy Detection of buried reference structures by use of atomic force acoustic microscopy](/preview/png/10672580.png)
چکیده انگلیسی
⺠AFAM technique was used to detect buried structures of well defined geometries. ⺠Detection depth depends on the defect geometry, dimensions and its stiffness. ⺠Maximum detection depth was about 900 nm. ⺠Experimental results were verified by quantitative analysis and FEM simulations.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Ultramicroscopy - Volume 111, Issue 8, July 2011, Pages 1405-1416
Journal: Ultramicroscopy - Volume 111, Issue 8, July 2011, Pages 1405-1416
نویسندگان
Andre Striegler, Bernd Koehler, Beatrice Bendjus, Mike Roellig, Malgorzata Kopycinska-Mueller, Norbert Meyendorf,