کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1533453 | 1512558 | 2016 | 8 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Pitch evaluation of gratings based on a digital image correlation technique
ترجمه فارسی عنوان
ارزیابی ارقام مشبک بر اساس یک روش همبستگی تصویر دیجیتال
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
ارزیابی زمین، گریت، همبستگی تصویر دیجیتال، یکنواختی،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
مواد الکترونیکی، نوری و مغناطیسی
چکیده انگلیسی
The digital image correlation (DIC) technique used for metrological grating evaluation is presented in this paper. A CCD camera is used to acquire the grating image, and the DIC technique together with the peak-position detection method is used to evaluate the grating pitches. The theoretical analysis and simulations are performed to confirm that the performance of our technique is as accurate as the Fourier transform (FT) technique, and is capable of noise resistance. As an example, the uniformity of the grating fabricated in our laboratory is measured using this method. The experimental results show that this grating has a peak-to-valley uniformity of 48Â nm during a long range of 35Â mm, and our technique has a higher repeatability than the FT technique in our measurement strategy. This work should be of great significance for the evaluation of metrological grating for optical encoders.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optics Communications - Volume 365, 15 April 2016, Pages 68-75
Journal: Optics Communications - Volume 365, 15 April 2016, Pages 68-75
نویسندگان
Yancong Lu, Wei Jia, Chunlong Wei, Junjie Yu, Shubin Li, Yanyang Li, Minkang Li, Jucheng Qiu, Shaoqing Wang, Changhe Zhou,