کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1540290 | 996658 | 2009 | 9 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A goniometric light scattering instrument with high-resolution imaging
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
مواد الکترونیکی، نوری و مغناطیسی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
This paper describes a new goniometric optical scattering instrument whose distinctive features include a mobile light source, a telecentric objective, and a fixed photodiode array. A scientific-grade CCD detector allows the instrument to reliably detect BRDF levels as low as 5×10-8sr-1, while generating a high-resolution map of light scattered from the sample surface. These data reveal the position and size of localized defects, which can then be excised from the sample to give an unbiased determination of the surface’s intrinsic roughness. High-quality signature and calibration data are also obtained, as well as a practical characterization of a silicon wafer.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optics Communications - Volume 282, Issue 7, 1 April 2009, Pages 1265–1273
Journal: Optics Communications - Volume 282, Issue 7, 1 April 2009, Pages 1265–1273
نویسندگان
Michel Lequime, Myriam Zerrad, Carole Deumié, Claude Amra,