کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1541425 | 996682 | 2007 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Determination of optical constants in the EUV/soft X-ray region using the Luus-Jaakola optimization procedure
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
مواد الکترونیکی، نوری و مغناطیسی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
A Luus-Jaakola optimization procedure is described that simultaneously determines the optical constants, thickness and root mean square roughness of thin films for reflectance versus angle-of-incidences data measured in the EUV/soft X-ray region. The optimization method is applied to different films at different wavelengths. The results show that the Luus-Jaakola optimization procedure is able to determine the thickness of films and the roughness with an accuracy of less than 7%. The optical constants obtained are also in good agreement with reported values for films having an error of less than 1%.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optics Communications - Volume 280, Issue 1, 1 December 2007, Pages 110–113
Journal: Optics Communications - Volume 280, Issue 1, 1 December 2007, Pages 110–113
نویسندگان
S.M. Al-Marzoug, R.J.W. Hodgson,