کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1654706 | 1517350 | 2005 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A compensation of Young's modulus in polysilicon structure with discontinuous material distribution
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
This paper is concerned with the effect of material discontinuities, such as porosity, on the modulus of elasticity and attempts to simulate the effects of porosity in polysilicon using a finite element model. The proposed Young's modulus model is applied to the simulation of a polysilicon MEMS gyro. When the compensated Young's modulus is used in this simulation, we can reduce the difference between the simulation and the actual experimental result.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Materials Letters - Volume 59, Issues 29–30, December 2005, Pages 3900–3903
Journal: Materials Letters - Volume 59, Issues 29–30, December 2005, Pages 3900–3903
نویسندگان
Dong-chan Lee, Hyeun-seok Choi, Chang-soo Han, Hee-jun Jeong,