کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1684613 | 1518764 | 2006 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Self-assembled nano-scale multilayer formation using physical vapor deposition methods
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Self-assembled nano-scale multilayer formation using physical vapor deposition methods Self-assembled nano-scale multilayer formation using physical vapor deposition methods](/preview/png/1684613.png)
چکیده انگلیسی
Self-assembled alternating carbon and metal layers have been produced by concurrent deposition of carbon and metal atoms using both dc reactive sputter deposition and mass selected ion beam deposition. High-resolution transmission electron micrographs clearly show the alternating metal-rich and -deficient layers with periodicities in the nanometer scale. The appearance of a multilayer structure and its periodicity strongly depend on the deposition parameters, i.e. the metal species, the provided stoichiometry and the ion energy. Here, we discuss the similarities and differences of the parameters used in both physical vapor deposition methods on the impact on the multilayer structures.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 242, Issues 1–2, January 2006, Pages 261–264
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 242, Issues 1–2, January 2006, Pages 261–264
نویسندگان
C. Ronning, I. Gerhards, M. Seibt, H. Hofsäss, Wan-Yu Wu, Jyh-Ming Ting,