کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1691340 | 1011309 | 2009 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Influence of ion assisted deposition on interface broadening in Fe/Al multilayers investigated by medium energy ion scattering
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Trilayers of Al/Fe/Al and Al/Fe multilayers produced by magnetron sputtering both with and without ion assistance have been depth profiled using Auger electron spectroscopy and medium energy ion scattering. Important differences are observed in the layer structure, with ion assisted deposition giving the narrowest Al/Fe interfaces and so maintaining the most clearly defined layer structure. Both types of sputtering result in some oxygen contamination, particularly at the surface that modeling shows to be associated with the Al layers.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 83, Issue 12, 11 August 2009, Pages 1454-1458
Journal: Vacuum - Volume 83, Issue 12, 11 August 2009, Pages 1454-1458
نویسندگان
M.S. Al-Busaidi, P. Bailey, T.C.Q. Noakes, M.D. Cropper,