کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
1691759 1011330 2006 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Ion-beam processing of single crystal diamond using SOG mask
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Ion-beam processing of single crystal diamond using SOG mask
چکیده انگلیسی

Various ion-beam etching characteristics of diamond and selectivity between diamond and spin-on-glass (SOG) were examined. The maximum selectivity of diamond and SOG was 12.7 in oxygen reactive ion-beam etching process at 100 V acceleration voltage. Using this etching condition and dot-shaped SOG mask, conical diamond field electron emitter arrays with 30 nm curvature radius, 2.58 μm base radius and 5.86 μm height were fabricated.

ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 80, Issue 7, 31 May 2006, Pages 793–797
نویسندگان
, , , ,