آشنایی با موضوع

لیتوگرافی یا طرح نگاری الکترونی در اوایل دهه ۱۹۶۰ میلادی تقریباً هم همان زمان با طرح نگاری نوری ابداع شد. طرح نگار الکترونی از میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) منشعب شده و بسیار شبیه آن است. این روش تنها با کشف پلیمر حساس به الکترون معروف به پلی(متیل متاکریلات) (PMMA)، امکان پذیر شد. لیتوگرافی پرتو الکترونی، یکی از جایگزین های پیش رو است که به جای نور از پرتو الکترون استفاده می‌کند. در این روش، طرح مدار با استفاده از پرتو الکترون روی لایه‌ی نازکی از پلیمر نوشته می شود. پرتو الکترون در ابعاد اتمی پراشیده نمی شود، بنابراین لبه های طرح، دیگر ناخوانا نیستند. محققان از این روش برای ترسیم خطوطی با پهنای چند نانومتر روی سطح سیلیکون آغشته به فوتورِزیست استفاده کرده اند. با این حال، ابزارهای پرتو الکترونی که امروزه وجود دارند، برای تولید انبوه در صنعت مناسب نیستند. زیرا این روش کُند است؛ این کار شبیه نسخه برداری از روی یک نوشته با دست است. طرح نگاری در ابعاد نانومتری یکی از گلوگاه های اصلی فناوری الکترونیک است که در ساخت مدارهای مجتمع کاربرد فراوانی دارد. گرچه سرعت طرح نگار الکترونی در مقایسه با طرح نگار نوری پایین تر است، اما این روش از چند جهت اهمیت دارد: وضوح بسیار بالا، سادگی نسبی، قابلیت تبدیل شدن به میکروسکوپ الکترونی روبشی، امکان ساخت ماسک برای طرح نگار نوری، کاهش هزینه ساخت و در نتیجه موازی سازی فرآیند.
در این صفحه تعداد 130 مقاله تخصصی درباره طرح نگاری الکترونی، لیتوگرافی پرتو الکترونی که در نشریه های معتبر علمی و پایگاه ساینس دایرکت (Science Direct) منتشر شده، نمایش داده شده است. برخی از این مقالات، پیش تر به زبان فارسی ترجمه شده اند که با مراجعه به هر یک از آنها، می توانید متن کامل مقاله انگلیسی همراه با ترجمه فارسی آن را دریافت فرمایید.
در صورتی که مقاله مورد نظر شما هنوز به فارسی ترجمه نشده باشد، مترجمان با تجربه ما آمادگی دارند آن را در اسرع وقت برای شما ترجمه نمایند.
مقالات ISI طرح نگاری الکترونی، لیتوگرافی پرتو الکترونی (ترجمه نشده)
مقالات زیر هنوز به فارسی ترجمه نشده اند.
در صورتی که به ترجمه آماده هر یک از مقالات زیر نیاز داشته باشید، می توانید سفارش دهید تا مترجمان با تجربه این مجموعه در اسرع وقت آن را برای شما ترجمه نمایند.
Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت
Keywords: طرح نگاری الکترونی، لیتوگرافی پرتو الکترونی; Electron beam lithography; Reactive ion etching; Inductively coupled plasma etching; Nano-structure; X-ray optics; Diffraction grating;
Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت
Keywords: طرح نگاری الکترونی، لیتوگرافی پرتو الکترونی; Fresnel zone plate; PMMA; Electron beam lithography; Thick resist
Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت
Keywords: طرح نگاری الکترونی، لیتوگرافی پرتو الکترونی; Electron beam lithography; Rotational mastering; Vacuum-compatible spindle; Ionic liquid
Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت
Keywords: طرح نگاری الکترونی، لیتوگرافی پرتو الکترونی; Dual-phase steel; Ferrite–bainite microstructure; Electron beam lithography; Strain hardening; Strain localization; Micromechanical modeling; FEM
Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت
Keywords: طرح نگاری الکترونی، لیتوگرافی پرتو الکترونی; Silicon nanowire; Biosensor; Surface functionalisation; Electron beam lithography; 8-hydroxydeoxyguanosine (8-OHdG); Electronic readout
Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت
Keywords: طرح نگاری الکترونی، لیتوگرافی پرتو الکترونی; SU-8 pillar; Profile control; Electron beam lithography; High aspect ratio; Nanofabrication