کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1820552 | 1525786 | 2006 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
New magnetron configurations for sputtered Nb onto Cu
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
فیزیک و نجوم
فیزیک ماده چگال
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
The removal of adsorbed impurities from the film surface and the increase of the film density are investigated by a biased third electrode that promotes the positive ions bombardment of the growing film. A mixed bias-magnetron has been built using a positively charged metal grid positioned all around the cathode.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Physica C: Superconductivity - Volume 441, Issues 1â2, 15 July 2006, Pages 102-107
Journal: Physica C: Superconductivity - Volume 441, Issues 1â2, 15 July 2006, Pages 102-107
نویسندگان
G. Lanza, J. Bermudez, A. Frigo, H. Padamsee, V. Palmieri, D. Tonini,