کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5179112 1502508 2016 8 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Non-chemically amplified resists containing polyhedral oligomeric silsesquioxane for a bilayer resist system
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی آلی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Non-chemically amplified resists containing polyhedral oligomeric silsesquioxane for a bilayer resist system
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Polymer - Volume 98, 19 August 2016, Pages 336-343
نویسندگان
, , ,