کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5357538 | 1503608 | 2015 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Performance of colloidal silica and ceria based slurries on CMP of Si-face 6H-SiC substrates
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Performance of colloidal silica and ceria based slurries on CMP of Si-face 6H-SiC substrates Performance of colloidal silica and ceria based slurries on CMP of Si-face 6H-SiC substrates](/preview/png/5357538.png)
چکیده انگلیسی
There was a significant difference in the CMP performance of 6H-SiC between silica and ceria based slurries. For the ceria based slurries, a higher MRR was obtained, especially in strong acid KMnO4 environment.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 359, 30 December 2015, Pages 664-668
Journal: Applied Surface Science - Volume 359, 30 December 2015, Pages 664-668
نویسندگان
Guomei Chen, Zifeng Ni, Laijun Xu, Qingzhong Li, Yongwu Zhao,