کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5422997 | 1507945 | 2011 | 10 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Electron beam deposition for nanofabrication: Insights from surface science
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Electron beam deposition for nanofabrication: Insights from surface science Electron beam deposition for nanofabrication: Insights from surface science](/preview/png/5422997.png)
چکیده انگلیسی
⺠Surface analytical techniques provide mechanistic insights into electron stimulated processes. ⺠Organometallic precursors undergo electron initiated metal-ligand bond cleavage. ⺠Total reaction cross-sections for adsorbed precursor species have been quantified. ⺠Atomic radicals successfully abate organic impurities in metal deposits.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface Science - Volume 605, Issues 3â4, February 2011, Pages 257-266
Journal: Surface Science - Volume 605, Issues 3â4, February 2011, Pages 257-266
نویسندگان
J.D. Wnuk, S.G. Rosenberg, J.M. Gorham, W.F. van Dorp, C.W. Hagen, D.H. Fairbrother,