کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
542356 | 871546 | 2009 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Joule expansion imaging techniques on microlectronic devices
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Joule expansion imaging techniques on microlectronic devices Joule expansion imaging techniques on microlectronic devices](/preview/png/542356.png)
چکیده انگلیسی
We have studied the electrically induced off-plane surface displacement on two microelectronic devices using scanning Joule expansion microscopy (SJEM). We present the experimental method and surface displacement results. We show that they can be successfully compared with surface displacement images obtained using an optical interferometry method. We also present thermal images using scanning thermal microscopy (SThM) technique to underline that SJEM is more adapted to higher frequency measurements. The performances of the three methods are compared.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronics Journal - Volume 40, Issue 9, September 2009, Pages 1367–1372
Journal: Microelectronics Journal - Volume 40, Issue 9, September 2009, Pages 1367–1372
نویسندگان
Stéphane Grauby, Luis-David Patino Lopez, Amine Salhi, Etienne Puyoo, Jean-Michel Rampnoux, Wilfrid Claeys, Stefan Dilhaire,