کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5456938 1515115 2017 8 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A method to improve the quality of 2.5 dimensional micro-and nano-structures produced by focused ion beam machining
ترجمه فارسی عنوان
یک روش برای بهبود کیفیت میکرو و نانو ساختارهای 2.5 بعدی، تولید شده توسط ماشینکاری پرتو یونی متمرکز
کلمات کلیدی
پرتو یون متمرکز شده، میکروسکوپ الکترونی اسکن، الگوی میکرو و نانو، فایل جریان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد دانش مواد (عمومی)
پیش نمایش مقاله
یک روش برای بهبود کیفیت میکرو و نانو ساختارهای 2.5 بعدی، تولید شده توسط ماشینکاری پرتو یونی متمرکز
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Micron - Volume 101, October 2017, Pages 8-15
نویسندگان
, , ,