کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5460707 1516172 2017 27 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Atomic layer deposition of Y-stabilized ZrO2 for advanced DRAM capacitors
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد فلزات و آلیاژها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Atomic layer deposition of Y-stabilized ZrO2 for advanced DRAM capacitors
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Alloys and Compounds - Volume 722, 25 October 2017, Pages 307-312
نویسندگان
, , , , , , , ,