Accuracy and precision of thickness determination from position-averaged convergent beam electron diffraction patterns using a single-parameter metric

الگوهای پراش الکترونی پرتوهای همگرایی میانگین به صورت میانگین با استفاده از الگوی پراکندگی انتقال در حالی که اسکن یک پروب الکترونی دقیق بر روی یک نمونه را تشکیل می دهند، شکل می گیرد. مقایسه بصری بین الگوهای تجربی و شبیه سازی به طور فزاینده ای برای تعیین ضخامت نمونه مورد استفاده قرار می گیرد. ما برای مقایسه اتوماتیک با استفاده از یک معادله ساده مربع تفاوت می کنیم. تعیین ضخامت نشان داده شده است دقیق (به عنوان مثال، ضخامت نتیجه به خوبی حدس می زنند عموما با ضخامت واقعی همخوانی دارد)، هر چند عوامل مانند نویز، اشتباه و پراکندگی ناپیانی دقت (یعنی افزایش محدوده عدم اطمینان) را کاهش می دهد. بدیهی است که دقت برای زاویه دیافراگم کوچکتر پروب شکل گرایش دارد.