Drift mechanism of mass transfer on heterogeneous reaction in crystalline silicon substrate

این کار با هدف بررسی وابستگی فشار ضخامت پلی اتیلن سیلیکون کاربید اپیتاکسیال که از سیلیکون بلور به علت واکنش ناهمگن با مونوکسید کربن گاز بررسی می شود، بررسی شده است. معلوم شد که این وابستگی حداکثر روشن را نشان می دهد. در افزایش فشار بیشتر ضخامت فیلم کاهش می یابد. مدل نظری توسعه یافته است که این ویژگی شخصیت وابستگی به این واقعیت را نشان می دهد که محصول واکنش سیلیکون منوکسید مهار ریزش یک واکنش گاز را از طریق کانال های یک شبکه کریستال، و به این ترتیب قطر هیدرولیکی خود را کاهش می دهد.