کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
701117 | 1460818 | 2008 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Synthesis of large single crystal diamond plates by high rate homoepitaxial growth using microwave plasma CVD and lift-off process
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
A process of making a large, thick single crystal CVD diamond plates has been developed. This process consists of high rate homoepitaxial growth of CVD diamond and subsequent lift-off process using ion implantation. By using this process, single crystal CVD diamond plates with the size of about 10 × 10 × 0.2–0.45 mm3 have been successfully fabricated. The crystallinity of the CVD diamond plates has been evaluated by X-ray topography, polarized light microscopy and high resolution X-ray diffraction. The results indicate the pretreatment of the seed substrate has strong effect on the crystallinity of the CVD diamond plates.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Diamond and Related Materials - Volume 17, Issues 4–5, April–May 2008, Pages 415–418
Journal: Diamond and Related Materials - Volume 17, Issues 4–5, April–May 2008, Pages 415–418
نویسندگان
Y. Mokuno, A. Chayahara, H. Yamada,