کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
703518 | 1460817 | 2008 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Piezo-actuated nanodiamond cantilever technology for high-speed applications
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Diamond cantilever actuators show high resonance frequencies but need also high actuation forces, pointing towards piezoelectric actuation by a PZT/diamond unimorph. In this study lead zirconate titanate (Pb(Zr,Ti)O3, PZT) layers have been deposited onto nanocrystalline diamond films by sol–gel deposition, to realize high-speed MEMS actuators. The fabrication technology is based on self-aligned patterning and on optical lithography. A mechanical resonance frequency of 3.9 MHz has been obtained for 30 µm cantilever length dominated by the nanodiamond Young's modulus of approximately 1000 GPa.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Diamond and Related Materials - Volume 17, Issues 7–10, July–October 2008, Pages 1429–1433
Journal: Diamond and Related Materials - Volume 17, Issues 7–10, July–October 2008, Pages 1429–1433
نویسندگان
J. Kusterer, A. Lüker, P. Herfurth, Y. Men, W. Ebert, P. Kirby, M. O'Keefe, E. Kohn,