کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
708767 892034 2016 12 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Data-Based Motion Control of Wafer Scanners
ترجمه فارسی عنوان
کنترل حرکت مبتنی بر داده ها از اسکنرهای ویفر
کلمات کلیدی
کنترل مبتنی بر داده ها، بهینه سازی ماشین در حلقه، کنترل حرکت، اسکنر ویفر
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی مکانیک محاسباتی
چکیده انگلیسی

This paper gives an exposition of examples of data-based control and optimization that found their way to successful application in the motion systems of industrial wafer scanners. The examples represent selective works brought together in an overview that highlights the possibilities, challenges, and open issues in data-based motion control of wafer scanners.

ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: IFAC-PapersOnLine - Volume 49, Issue 13, 2016, Pages 1–12
نویسندگان
,