کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7110946 1460748 2018 8 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Surface damage of single-crystal diamond (100) processed based on a sol-gel polishing tool
ترجمه فارسی عنوان
آسیب سطحی الماس تک کریستال (100) بر اساس یک ابزار پرداخت صلب ژل پردازش شده است
کلمات کلیدی
الماس کریستال تک، آسیب سطحی و زیر زمین، ابزار پرداخت نیمه ثابت، مکانیزم حذف،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش مقاله
آسیب سطحی الماس تک کریستال (100) بر اساس یک ابزار پرداخت صلب ژل پردازش شده است
چکیده انگلیسی
TEM images of subsurface damage in the soft (a) and hard (b) direction of single crystal diamond processed by MP, MCP and CMP.139
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Diamond and Related Materials - Volume 83, March 2018, Pages 46-53
نویسندگان
, , , , ,