کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7138249 | 1461914 | 2012 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A buried vertical filter for micro and nanoparticle filtration
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
MicrofluidicsLPCVDPECVDDFRDeep reactive ion etching - اچینگ یون واکنش پذیر عمیقPorous wall - دیوار متخلخلDRIE - سهSilicon micromachining - سیلیکون میکروچینینگParticle Filter - فیلتر ذرهSEM - مدل معادلات ساختاری / میکروسکوپ الکترونی روبشیscanning electron microscope - میکروسکوپ الکترونی اسکنPlasma enhanced chemical vapor deposition - پلاسما از رسوب بخار شیمیایی افزایش یافته استLow pressure chemical vapor deposition - کم فشار مخلوط بخار شیمیایی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
This paper presents a silicon micromachined filter concept suitable for separating micro- and nanoparticles. The filter is orientated vertically and buried beneath a silicon nitride surface layer. The vertically positioned structure accommodates highly uniform pores and allows for efficient use of die area while the buried aspect makes it possible for additional features to be integrated directly above the filter and its microchannels. The filter consists of a porous wall that is structurally defined inside the silicon substrate and is released, together with the microchannels, by isotropically etching the surrounding silicon. Fluidic experiments have confirmed the filtration functionality of fabricated devices using operating pressures up to 700Â kPa. The proposed concept also offers the possibility to have built-in cleansing of the cake layer formed on the porous wall, by reversing the fluid flow.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 186, October 2012, Pages 203-209
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 186, October 2012, Pages 203-209
نویسندگان
S.J. Li, C. Shen, P.M. Sarro,