Plasma properties during magnetron sputtering of lithium phosphorous oxynitride thin films

پارامترهای جداسازی نیتروژن و پارامترهای پلاسما در فرکانس رادیویی اسپکتروفتومایزهای نازک اکسین نیترید فسفری لیتیوم فسفری در گاز نیتروژن به وسیله اسپکترومتری ظاهر جرم، پروب الکترواستاتیک و طیف سنجی نوری مورد بررسی قرار گرفته و نتایج با خواص الکتروشیمیایی و میکروارگانیسم فیلم ها ارتباط دارد. فشار پایین و قدرت متوسط ​​با تراکم پلاسمای پایین، دمای الکترون بالاتر، پلاسما بالقوه بالقوه و طول بیشتر انتشار برای ذرات اسپری همراه است. این ترکیبی از پارامترها به حضور نیتروژن اتمی بیشتر کمک می کند، این واقعیت که با هدایت یونی بالاتر است. علیرغم چگالی پلاسمای پایین، فیلم با فشار کمتری رشد می کند که در آن پتانسیل بالقوه بالقوه، انرژی بیشتری برای جابجایی یون ها بر روی بستر ایجاد می شود و ساختار فیلم فشرده و صاف را ایجاد می کند. فشار بیشتر نشان می دهد که جداسازی نیتروژن و انرژی یونی پایین تر با فیلم های نازک، هدایت یون کمتر و ساخت فیلم ضعیف با زبری بزرگ نشان می دهد.