کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7833070 1503515 2018 8 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Selective etching of PDMS: Etching technique for application as a positive tone resist
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Selective etching of PDMS: Etching technique for application as a positive tone resist
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 457, 1 November 2018, Pages 662-669
نویسندگان
, ,