کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7834234 1503525 2018 21 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Selective etching of PDMS: Etching as a negative tone resist
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Selective etching of PDMS: Etching as a negative tone resist
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 447, 31 July 2018, Pages 697-703
نویسندگان
, ,