کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7835968 1503537 2018 10 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Comparing XPS on bare and capped ZrN films grown by plasma enhanced ALD: Effect of ambient oxidation
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Comparing XPS on bare and capped ZrN films grown by plasma enhanced ALD: Effect of ambient oxidation
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 435, 30 March 2018, Pages 367-376
نویسندگان
, ,